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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제14권 제1호
발행연도
2004.1
수록면
64 - 72 (9page)

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In this paper. we analyse and present electro-mechanical dynamic characteristics of a micro-machined vibrating silicon ring gyroscope which can measure angular velocities about three orthogonal axes. The ring gyroscope has a ring connected to the gyroscope main body by support-ligaments which are arranged with cyclic symmetry. The natural modes of its vibration can be distinguished into the in-plane motion and the out-of-plane motion which are coupled by the gyro-effect due to the rotation of the gyroscope main body. The motions of the ring are electro-statically derived. sensed and balanced by electrodes. The equations of motion are formulated. The measuring method of angular velocities by force-to-rebalance is presented. The dynamic characteristics of a ring gyroscope are calculated and compared.
#3축 #각속도 #고유모드 #링 자이로스코프 #면내운동 #면외운동 #순환대칭 #전극 #Angular Velocity #Cyclic Symmetry #Electrode #In-plane Motion #Natural Mode #Out-of-plane Motion #Ring Gyroscope #Three-axis

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