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저널정보
한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제13권 제9호
발행연도
2003.9
수록면
663 - 670 (8page)

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As the micro-technologies in the high precision manufacturing processes are developed, the demand for micro actuating device is increasing. But, it is difficult to achieve high resolution and wide operating range simultaneously with the conventional actuating systems which are contacting and type of dual servo system. So, the contact-free surface actuators whose movers are suspended or levitated were proposed. These systems can be applied to high precision stages and alignment apparatuses. The suspended mover can be assumed to be rigid body, but the mover is a structure in this study, therefore the vibration caused during the operating process has a serious adverse effect on the performance and it is very important to identify the vibrational characteristics. In this paper, a contact-free surface actuator is modeled in finite element method and updated by using the experimental modal data. Finally, the static and dynamic characteristics of the finite element model are predicted and then discussed.
#비접촉 평면 구동기 #유한요소모델 #유한요소해석 #자기 서스펜션 #Contact-free Surface Actuator #Finite Element Analysis #Finite Element Model #Magnetic Suspension

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