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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정광석 (한국교통대학교 기계공학과) 박준규 ([주]AP시스템) 심기본 ([주]한미반도체)
저널정보
한국교통대학교 융복합기술연구소 융ㆍ복합기술연구소 논문집 융ㆍ복합기술연구소 논문집 제3권 제1호
발행연도
2013.1
수록면
1 - 8 (8page)

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High-precision surface actuator, in which in-plane motion is realized by not two-dimensional actuator superposing linear actuators but integrated planar actuator, has been developed to cope with the severe target performance like precise motion with large envelope. It is very difficult to accomplish the performance with the traditional actuating principle. So, various methods have been tried to break through the problem. This paper discusses some meaningful trials performed in the Nano Measurement and Precision Motion Control Lab. of Korea National University of Transportation.

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