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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국소음진동공학회 소음·진동 소음진동 제8권 제2호
발행연도
1998.4
수록면
324 - 330 (7page)

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The forced vibration analysis of the outer-clamped spinnig annular disk with arbitrary in-plane is formulated to investigate the influence of non-uniform tension on the cutting accuracy of wafer cutting machine. The arbitrary in-plan force along the outer edge of an annular plate is expressed as a Fourier series. Galerkin method and modal superposition method are employed to obtain the forced responses under the static force and the impulse force in astationary coordinate. Through qualitative and quantitative analyses, it can be found that forced and impulse responses are sensitive to the non-uniformity of in-plane force, which can bring a bad effect to the accuracy of wafer cutting process. Also, in case of a spinning disk with non-uniform in-plane force, critical speed is required to define in a different way, compared with conventional definition in axi-symmetrical spinning disk.
#강제 진동 #불균일 장력 #웨이퍼 가공 #임계속도 #평면력 #Critical Speed #Forced Response #In-plane Force #Non-uniform Tension #Wafer Cutting Machine

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