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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.5
- 수록면
- 1,185 - 1,192 (8page)
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미세 제조 공정에서의 수율은 제품의 원가와 품질을 결정하는 중요한 관리 요인이다. 미세제조 공정은 일반적으로 많은 단계의 공정을 거쳐서 제품이 생산되기 때문에 높은 수율을 보장하기가 현실적으로 어렵다. 제품의 수율을 향상시키기 위하여 수많은 설비 중에서 저수율의 원인이 되는 불량요인을 분석하고, 불량요인에 영향을 미치는 중요공정 및 설비를 찾아서 관리해야 한다. 그러나 설비 사이의 상관관계가 존재하며 로트가 거쳐간 공정설비의 시퀀스상에서 후공정이 선공정과 함께 복합적으로 불량을 야기하기 때문에 수율관리는 중요하면서도 쉽지 않은 문제이다. 본 연구는 미세 제조라인의 공정에서 PLS-VIP와 연관규칙을 활용한 방법을 통해 수율에 영향을 미치는 중요공정 및 설비를 찾고 이를 단일요인 (Single Factor)과 누적요인(Cumulative Factor)으로 구분하였다. 그리고 제시한 방법론을 실제현장에 적용하여 혐의공정 및 혐의설비를 추출하고 중요공정 및 설비가 수율에 미치는 영향을 확인하였다.
목차
Abstract
1. 서론
2. 선행연구
3. 방법론
4. 실험 및 분석
5. 결론
참고문헌
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