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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.12
- 수록면
- 3,965 - 3,969 (5page)
이용수
초록· 키워드
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In this report, we present a highly sensitive hydrogen gas sensor based on a suspended carbon nanowire functionalized with a thin palladium layer which is coated selectively on the suspended wire using a lift-off process. Application of this process to conventional suspended nanostructures is limited because of low structure robustness resulting in stiction phenomenon frequently. The suspended nanowire is fabricated using carbon-MEMS consisting of successive photolithography processes and a single pyrolysis process. The pyrolysis accompanies a volume reduction of carbon posts supporting the suspended nanowire and thus the nanowire exhibits tensile stress resulting in the enhancement of wire robustness enough to overcome surface tension. Owing to the suspended geometry of the carbon nanowire, palladium can be selectively patterned in sub-micrometer-scale resolution using a simple e-beam evaporation process. The nanowire-based sensor shows good sensing capability of hydrogen gas in low concentration down to 20 ppm
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과
4. 결론
참고문헌
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