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학술대회자료
저자정보
제진솔 (서강대학교) 이정철 (서강대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2013년도 학술대회
발행연도
2013.12
수록면
2,301 - 2,305 (5page)

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This paper reports fabrication and characterization of liquid metal microheaters. Liquid metal microheaters were fabricated by injecting eutectic gallium indium into polydimethylsiloxane (PDMS) mold replicas bonded to either oxidized silicon or PDMS substrates. Considering the net positive volume change of the microheater upon heating, both solid and hollow electrodes were investigated. While the solid electrodes experience void formation and show unreliable electrical connection at elevated temperatures, the hollow electrodes are free of void thus exhibit more stable long-term operation than the solid electrodes do. Liquid metal microheaters with silicon substrate show better temperature uniformity than ones with PDMS substrate due to the higher thermal conductivity of the silicon substrate. However, microheaters with PDMS substrate are flexible thus more applicable when microheaters should be interfaced with non-flat surfaces.
#Electrode(전극) #Flexible(유연한) #Liquid metal(액체 금속) #Microheater(마이크로히터) #Temperature uniformity(온도 균일성)

목차

Abstract
1. 서론
2. 제작 및 실험
3. 결과 및 토의
4. 결론
참고문헌

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