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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김광호 (청주대학교)
저널정보
한국정보기술학회 한국정보기술학회논문지 한국정보기술학회논문지 제12권 제1호(JKIIT, Vol.12, No.1)
발행연도
2014.1
수록면
25 - 30 (6page)
DOI
10.14801/kiitr.2014.12.1.25

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원격 플라즈마 화학 기상 증착(RPECVD)법을 이용하여 실리콘 및 석영 기판상에 실리콘 박막을 형성시키고 그 특성을 평가하였다. 실리콘 박막을 형성시키기 위하여 소스 물질로서 아미노 실란 전구체 Diisoprophyla minosilane(DIPAS)를 사용하였다. 아미노 실란은 구조적 변수의 넓은 범위를 제공하며, 안전, 화학 반응성, 및 조작성 등이 실용적인 관점에서 알콕시 실란 또는 염화 실란보다 더 바람직 할 수 있다. 500~700℃의 범위에서 증착된 실리콘 박막의 증착 속도는 약 0.8~13nm/min.이었다. EDX 분석을 통하여 증착된 실리콘 박막 내에는 실리콘이외의 다른 성분은 관찰되지 않음을 확인하였다. 500~700℃의 범위에서 증착 된 석영기판위의 실리콘 결정구조는 비정질 상태였으며, 증착된 이 비정질 실리콘 박막의 전기 전도도는 500kΩ/sq이상이었다.
#silicon films #diisoprophylaminosilane #DIPAS #H3Si[N {(CH)(CH3)2 }2] #RPECVD

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 실험 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
References

참고문헌 (16)

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2. [학술지(정기간행물)] - 이병호 / 2013 / IGBT를 이용한 대용량 플라즈마용 전원장치 개발 / 한국정보기술학회논문지 11 (6) : 25 ~ 32 dbpia 3. [학술지(정기간행물)] - 정훈주 / 2013 / P-채널 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 문턱전압 변동을 보상할 수 있는 전압 기입 AMOLED 화소회로 / 한국정보기술학회논문지 11 (3) : 19 ~ 25 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - H. C. Song / 2005 / Performance analysis of high speed SSd for high speed I/O processing in the internet server / Journal of IIBC 5 (2) : 21 ~ 30 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - 정홍식 / 2010 / 집적광학 센서 응용에 적합한 실리콘 비공진 반사형 광도파로 최적화에 관한 연구 / 한국인터넷방송통신학회 논문지 10 (5) : 153 ~ 160 dbpia 6. [학술지(정기간행물)] - J. M. Blocher, Jr / 1962 / Chemical Vapor Deposition Opens New Horizons in Ceramic Technology / Am. Ceram. Soc. Bull 41 : 81 ~ 84 google schola

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