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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.11
- 수록면
- 291 - 295 (5page)
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본 논문에서는 Single SMIF pod의 마모 원리를 분석 및 근본원인을 개선하여 반영구적 수명 구현을 최종 목적으로 두었다. 자사 반도체 양산라인 포토공정에서 사용되는 Single SMIF pod RSP-150만의 특수한 마모발생으로 인해 설비 loading시 pod감지불능현상을 유발하여 적지 않은 수량의 pod가 폐기되고 있는 실정이다. 또한 pod감지불능현상으로 인해 생산성 저하현상은 물론, 설비 down문제를 야기하게 되었으며 pod 재구매시 높은 단가로 인한 낭비 또한 많은 손실을 가져왔다. 이에 따른 대안으로써 마모발생 근본원인의 개선을 제안하였으며 마모발생 근본원인의 개선으로 pod의 반영구적 수명구현은 물론 설비 loading시 pod감지불능현상을 제로 화하여 생산성 향상에 기여하였고, 수명향상에 따른 원가절감효과 등을 거둘 수 있을 것으로 판단하여 본 연구를 논문의 주제로 선정하게 되었다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결론
Ⅳ. 참고 문헌
참고문헌 (0)
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