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The experimental study for the temperature uniformity on the wafer using liquid-vapor phase heat transfer mechanism is performed. For the experiment, the heater plate which is consist of stainless steel container, working fluid and electrical heater is designed, manufactured and tested at the range of 600 to 850℃. The results showed that the phase change type heater plate was much more uniform and stable temperature on the heater plate surface and wafer than the uniform heat flux type heater plate at the atmospheric condition. Also, the results of 300 mm outer diameter of heater plate showed that the same temperature uniformity compared with 230mm.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험장치와 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (2)
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2015-580-001061527