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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2004.12
- 수록면
- 28 - 37 (10page)
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목차
1. 서언
2. AFM기반의 Tribo-Nanolithography 기술을 응용한 나노 패터닝
3. 나노 트라이볼로지
4. 기계화학적 극미세 가공기술을 이용한 소프트리소그래피 공정용 스템프 제작 기술
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