소오스-드레인 기생용량을 개선한 박막트랜지스터 제조공정

허창우

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자료유형: 학술저널

저자정보: 허창우

저널정보: 한국정보통신학회 한국정보통신학회논문지 한국정보통신학회논문지 제8권 제4호

발행연도: 2004.8

수록면: 821 - 825 (5page)

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[학술지(정기간행물)] - / 2002 / 산화물 반도체 박막 가스센서 어레이의 제조 및 수율 개선 6 (2) : 315 ~ 322

[학술지(정기간행물)] - / 2003 / 강유전성 박막의 형성 및 수소화 된 비정질실리콘과의 접합 특성 7 (3) : 468 ~ 473

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Chang-Wu Hur

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