엑시머 레이저광의 회절에 의한 저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 소오스/드레인 접합부 결함 생성

강수혁 ,  박기찬 ,  이민철 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

실리콘 이온 주입후 고상 결정화시킨 다결정 실리콘 TFT의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics of the Poly-Si TFT using SPC Films after Si Ion Implantation )

이병주 ,  김재영 ,  강문상 외 2명

전자공학회논문지-A

1993 .10

다결정 실리콘 박막트렌지스터의 누설전류 해석

이인찬 ,  마대영 ,  김상현

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

실리콘 이온 주입후 고상 결정화된 Poly-Si TFT의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of Poly-Si TFT Using SPC Films After Si ion Implantation )

이병주 ,  김재영 ,  강문상 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

소오스-드레인 기생용량을 개선한 박막트랜지스터 제조공정

허창우

한국정보통신학회논문지

2004 .08

다결정 실리콘 박막 트렌지스터의 self-heating 효과를 감소시키기 위한 ILD 구조 개선

박수정 ,  문국철 ,  한민구

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

다결정 실리콘 TFT에 대한 수소화 처리의 영향

하형찬 ,  이상규 ,  박홍탁 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Self-Aligned된 다결정 실리콘 소오스와 드레인을 갖는 새로운 MOSFET의 제작 ( A New MOSFET Structure with Self-Aligned Polysilicon Source and Drain Electrodes )

오춘식 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

Fabrication of the Two-Step Crystallized Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors with the Novel Device Structure

최용원 ,  황한욱 ,  김용상 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

비정질 실리콘 박막 트렌지스터의 2차원적 수치 분석

주인수 ,  한민구

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

다결정 실리콘 박막 트랜지스터 특성에 미치는 뒷 게이트 바이어스 효과에 관한 연구

김기범 ,  윤여건 ,  박혜향 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

대면적 TFT-LCD를 위한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 ( The Poly-Si Thin Film Transistor for Large-area TFT-LCD )

이정석 ,  이용재

한국통신학회논문지

1999 .12

선택적으로 도핑된 채널을 가지는 새로운 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

정상훈 ,  이민철 ,  전재홍 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

짧은 채널 길이의 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 스트레스에 대한 연구

최권영 ,  김용상 ,  한민구

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

CO2 레이저 열처리에 따른 이온 주입된 다결정 실리콘 박막의 판막저항 변화에 관한 연구

박병황 ,  안철

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

CO2 레이저 열처리에 따른 이온 주입된 다결정 실리콘 박막의 판막저항 변화에 관한 연구 ( A Study on the Sheet Resistance Variation in Ion Implanted Poly-Si Thin Flim by CO2 Laser Annealing )

박병황 ,  안철

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

다결정 실리콘 TFT에 대한 수소처리 영향 ( Hydroquenation Effects on the Poly-Si TFT )

하형찬 ,  이상규 ,  고철기

전자공학회논문지-A

1993 .01

분자 동역학을 이용한 점 결함 및 극 저 에너지 실리콘 이온 주입에 관한 연구 ( A Study on the Silicon Point Defects and Ultra-Low Energy Si Ion Implantation using Classical Molecular Dynamics )

Jeong Won Kang ,  Myung Sik Son ,  Ki Ryang Byun 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

분자 동역학을 이용한 점 결함 및 극 저 에너지 실리콘 이온 주입에 관한 연구

Jeong-Won Kang ,  Myung-Sik Son ,  Ki-Ryang Byun 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

새로운 구조의 금속 유도 측면 결정화에 의한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작에 관한 연구

인태형 ,  이병일 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01