지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.5
- 수록면
- 1,213 - 1,218 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
본 연구에서는 고주파 마그네트론 스퍼터링법으로 기판온도 변화에 따른 GZO 박막을 투명 사파이어 기판위에 제작하여, 박막의 전기적.광학적 특성 및 결정화 특성을 조사하였다. 전기적 특성을 조사한 결과, 기판온도 300 ℃에서 가장 낮은 4.18 × 10<SUP>-4</SUP> Ω㎝ 의 비저항을 나타내었고, 이때의 캐리어 농도는 6.77 × 10<SUP>20</SUP> ㎝<SUP>-3</SUP>, 홀 이동도는 22 ㎝²/Vs 를 나타내었다. 또한 이 조건에서 가장 큰 c-축 배향성을 얻을 수 있었고, 그 때의 반가폭은 0.34℃이었다. AFM 표면형상에서도 기판온도 300 ℃ 에서 가장 우수한 결정성을 확인하였다. 모든 GZO 박막은 기판온도와 무관하게 가시광 영역에서 80 % 정도의 투과율을 보였고, 광학적 밴드갭은 기판온도가 300 ℃ 까지 증가함에 따라 3.52 eV 로 증가하여 blue-shift 의 경향이 관찰되었으며, 벌크 ZnO 의 밴드갭인 3.3 eV 보다 높은 것을 확인하였다. 이는 기판온도 증가에 따른 캐리어 농도의 증가로 에너지 밴드갭이 확장된다는 Burstein-Moss 효과로 설명될 수 있다.
목차
요약
ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (0)
참고문헌 신청이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
Al, Ga, In 을 첨가한 ZnO 박막을 사용하여 제작된 OLED 소자 특성
박세훈
,
박지봉
,
송풍근
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009
.10
파우더 블라스팅을 이용한 사파이어 글라스의 가공성 평가
강은지
,
김정호
,
장호수
외 1명
한국생산제조학회지
2015
.04
자외선 방출 효율을 증가시키는 투명 전도 산화물 외
편집부
전기의세계
2013
.11
단결정 실리콘 태양전지의 도핑 최적화를 위한 확산 온도에 대한 연구
최성진
,
송희은
,
유권종
외 4명
한국태양에너지학회 논문집
2011
.02
스크린 프린팅 태양전지의 후면 전계 형성을 위한 열처리 조건에 관한 연구
이재두
,
김민정
,
이수홍
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2010
.04
최근 본 자료
댓글(0)
0