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2013
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전력 MOSFET(산화물-반도체 전위 효과 트랜지스터)는 BLDC 모터와 전력 모듈 등에 광범위하게 사용하고 있다. 기존 전력 MOSFET 구조는 온-저항과 항복전압사이에 절충(tradeoff)이 필요하다. 이러한 절충을 하지 않고 최적화를 하기위해 비균일 초접합 트랜치 MOSFET 를 설계하는데 동일한 항복전압에서 균일 초접합 트랜치 MOSFET보다 낮은 온-저항을 갖도록한다. 이를 위해 드리프트 영역에서 우수한 전기장 분포를 달성하기 위하여 선형구조의 도핑 프로파일을 제안하고, 단위 셀 설계, 도핑농도의 특성분석, 전위분포를 SILVACO TCAD 2D인 Atlas 소자 소프트웨어를 사용하여 시뮬에이션을 수행하였다. 결과로 100V 급 MOSFET에서 비균일 초접합 트랜치 MOSFET가 균일 초접합 트랜치 MOSFET보다 온-저항에서 우수한 특성을 보여주고 있다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 초접합 구조 및 설계
Ⅲ. 시뮬레이션
IV. 결론 및 검토
REFERENCES
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
1. [단행본] - B. J. Baliga / 2010 / Advanced Power MOSFET Concepts / New York Springer-Science : 323 ~ 354
2. [학술지(정기간행물)] - Ying Wang / 2010 / Gate Enhanced Power UMOSFET With Ultra Low On-Resistance / IEEE Electron Device Letters 31 (4)
3. [학술지(정기간행물)] - Young Hwan Lho / 2012 / Design of 100-V Super-Junction Trench Power MOSFET with Low On-Resistance / ETRI Journal 34 (1) : 134 ~ 137
4. [학술지(정기간행물)] - Yu Chen / 2007 / Design of Gradient Oxide Bypassed Super-junction Power MOSFET Devices / IEEE Transactions 22 (4)
5. [학술지(정기간행물)] - Jongdae Kim / 2003 / A Novel Techinique for Fabricating High Reliable Trench DMOSFETs Using Self-Align Technique and Hydrogen Annealing / IEEE Transactions on Electron Devices 50 (2) : 378 ~ 383
2. [학술지(정기간행물)] - Ying Wang / 2010 / Gate Enhanced Power UMOSFET With Ultra Low On-Resistance / IEEE Electron Device Letters 31 (4)
3. [학술지(정기간행물)] - Young Hwan Lho / 2012 / Design of 100-V Super-Junction Trench Power MOSFET with Low On-Resistance / ETRI Journal 34 (1) : 134 ~ 137
4. [학술지(정기간행물)] - Yu Chen / 2007 / Design of Gradient Oxide Bypassed Super-junction Power MOSFET Devices / IEEE Transactions 22 (4)
5. [학술지(정기간행물)] - Jongdae Kim / 2003 / A Novel Techinique for Fabricating High Reliable Trench DMOSFETs Using Self-Align Technique and Hydrogen Annealing / IEEE Transactions on Electron Devices 50 (2) : 378 ~ 383
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