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저자정보
Jindeok Seo (Chungnam National University) Kyomook Lim (Chungnam National University) Hyoungho Ko (Chungnam National University)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집 ICCAS 2012
발행연도
2012.10
수록면
1,128 - 1,131 (4page)

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A programmable continuous-time capacitive ASIC for MEMS (Microelectromechanical System) vibratory gyroscope is presented. The programmable readout circuit minimizes process variations including parasitic capacitances and fabrication imperfections. The fabricated ASIC adopts continuous-time chopper-stabilized architecture to achieve low noise characteristics. To cancel the parasitic effects and to improve the temperature response, a continuous-time front-end architecture with digital trimming is proposed. The fabricated capacitive ASIC is evaluated with gyroscope sensing element. The input range and scale factor are ±90 deg/sec and 164 counts/ deg/sec, respectively.
#Gyroscope #Capacitive Interface #Programmable Circuit

목차

Abstract
1. INTRODUCTION
2. MEMS Vibratory Gyroscope
3. Programmable Capacitive Interface Circuit
4. Measurement Results
4. Conclusions
REFERENCES

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