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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
고형호 (충남대학교)
저널정보
대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 電子工學會論文誌 第48卷 SD編 第9號
발행연도
2011.9
수록면
13 - 21 (9page)

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본 논문에서는 MEMS 용량형 각속도 센서용 프로그래머블 CMOS 인터페이스 회로를 제작하고, 이를 MEMS 센싱 엘리먼트와 결합하여 평가하였다. 본 회로는 10 bit 프로그래머블 캐패시터 어레이 를 이용한 전하 증폭기, 오프셋 미세 조정을 위한 9 비트 DAC, 출력 민감도의 미세 조정을 위한 10 비트 PGA를 내장하여, 오프셋 및 민감도 오차를 정밀 조정할 수 있다. 제작 결과 자동 이득 제어 회로를 포함한 자가 발진 루프의 정상 동작을 확인하였다. 오프셋 오차와 민감도 오차는 각각 0.36%FSO 와 0.19%FSO 로 측정되었으며, 잡음 등가 해상도와 바이어스 불안정도는 각각 0.016 deg/sec 와 0.012 deg/sec 으로 평가되었다. 본 회로의 조정 기능을 이용하여 MEMS 용량형 각속도 센서의 기생 용량으로 인하여 발생되는 출력 오프셋 및 출력 민감도의 산포를 감소시킬 수 있으며, 이는 센서의 양산성 및 수율 향상에 크게 기여할 수 있을 것으로 기대된다.
#Capacitive interface #Programmable circuit #Self oscillation #Gyroscope #MEMS

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 각속도 센서 마이크로 시스템의 설계
Ⅲ. 성능 평가 결과
Ⅳ. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (18)

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1. [학술지(정기간행물)] - 이양두 / 2010 / 자동차의 안전성과 환경을 위한 센서의 응용 현황 / 전자공학회지 37 (5) : 38 ~ 47 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - 김청월 / 2003 / 진동형 각속도 검출 센서를 위한 애널로그 신호처리 ASIC의 구현 / 전자공학회논문지 - SD 40 (4) : 65 ~ 73 dbpia 3. [학술지(정기간행물)] - 이병렬 / 2001 / 마이크로 관성센서 기술 / 전자공학회지 28 (10) : 39 ~ 44 dbpia 4. [보고서] - J.J.Allen / 2009 / Micro-System Inertial Sensing Technology Overview google schola 5. [학술지(정기간행물)] - N. Yazdi / 1998 / Micromachined inertial sensors / Proc. IEEE 86 (8) : 1640 ~ 1659 google schola

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