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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.5
- 수록면
- 234 - 238 (5page)
이용수
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In order to apply the nano imprint technology in the large area process, roller pressing is promising because of low cost and high productivity. When pressing mold by roller, liquid resin is locally squeezed by mold and substrate. In this study, the main focus is to understand which process parameter affects the residual layer. To do this, simple analytic model was introduced. Especially, we insert aspect ratio term in the equation. As a result, when the aspect ratio of pattern in the mold increases, the thickness of residual layer also increases. For the conclusion, the uniformity of residual layer could be accomplished by the control of velocity and pressing force in roller pressing imprint process.
목차
Abstract
기호설명
1. 롤러 가압 임프린트 공정
2. 모델링
3. 변수의 영향
4. 결론
참고문헌
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