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저자정보
민혜진 (수원대학교) 신진호 (수원대학교) 배재흠 (수원대학교) 김홍곤 (한국과학기술연구원) 이현주 (한국과학기술연구원)
저널정보
한국청정기술학회 청정기술 청정기술 제14권 제3호
발행연도
2008.9
수록면
184 - 192 (9page)

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불소계 화합물인 삼불화에탄올(2,2,2-trifluoroethanol, TFEA)와 수소화불화에테르(hydrofluoroether, HFE)는 성층권의 오존층을 파괴하지 않으며, 수소화불화탄소(hydrofluorocarbon, HFC) 및 수소화염화불화탄소(hydrochlorofluorocarbon, HCFC)계 세정제에 비하여 지구온난화 영향력도 낮다. 특히, 인화점이 없는 HFE계 세정제는 낮은 인화점을 갖는 탄화수소계 세정제보다 취급에 안전하고 침투력이 우수하여 차세대 염화불화탄소(chlorofluorocarbon, CFC) 대체세정제로 주목받고 있다. 본 연구에서는 불소계 세정제인 TFEA, HFE-7100, HFE-7200, HFE-476mec, HFE-449mec-f, AE-3000, AE-3100E와 실리콘계 세정제인 트리플루로에톡시트리메틸실란(trifluoroetoxytrimethylsilane, TFES)와 헥사메틸디실라잔 (hexamethyldisilazane, HMDS)의 물성과 세정력을 오존파괴 물질인 CFC-113, 삼염화에탄(1,1,1-trichloroethane)와 유해물질인 이염화탄소(methylene chloride, MC) 등의 염소계 세정제, 그리고 현재 대체세정제로 많이 사용하고 있는 이소프로필알코올(isopropyl alcohol, IPA) 등과 비교 평가하였다. 그 결과 TFEA와 HFEs는 일반적으로 발생하는 다양한 오염물질들에 대하여 염소계 세정제에 비하여 낮은 세정능력을 보여주었지만, 불소를 함유한 불소계 오염물의 제거에는 우수한 세정력을 보였다. 그리고 실리콘계 세정제인 TFES와 HMDS도 실리콘계 오염물에 대한 세정력이 우수함을 보여주었다.
#삼불화에탄올 #트리플루로에톡시트리메틸실란 #헥사메틸디실라잔 #수소화불화에테르 #대체세정제 #세정성능 평가 #2,2,2-Trifluoroethanol #Trifluoroetoxy-trimethyl-silane #Hexamethyldisilazane #Hydrofluoroethers #Alternative cleaning agents #Cleaning evaluation

목차

요약
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (31)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Bae, J. H / 2005 / "Alternative Cleaning Agents and Alternative Cleaning Technologies for Replacing CFC," / Prospectives of Industrial Chemistry 8 (2) : 25 ~ 40 google schola 2. [학위논문] - Jung, Y. W / 2007 / “Evaluation of Cleaning Ability of Formulated CFC-Alternative Hydrocarbon-based Cleaning Agents and Their Application to Industrial Fields,” / Master / University of Suwon google schola 3. [단행본] - Bae, J. H / / "Environmental-friendly Wet Cleaning Technology and Cleaning Mechanism," / Seminar on CFC-alternative Technology, Korea Speciality Chemical Industry Association google schola 4. [인터넷자원] - / / http://multimedia.mmm.com/mws/mediawebserver.dyn?-6666660 google schola 5. [인터넷자원] - / / http://www.nedo.go.jp/english/publications/brochures/fy2003/ google schola

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