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저자정보
Kazuhiro Yoshida (Tokyo Institute of Technology) Toru Ide (Tokyo Institute of Technology) Joon-wan Kim (Tokyo Institute of Technology) Shinichi Yokota (Tokyo Institute of Technology)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집 ICCAS-SICE 2009
발행연도
2009.8
수록면
2,987 - 2,990 (4page)

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In this paper, we propose and develop a novel ER microgripper using flexible ER valves (FERVs). An FERV controls electro-rheological fluid (ERF) flow by the apparent viscosity increase due to the applied electric field. The gripper has plural arms. Each arm consists of an FERV, a movable chamber and a displacement constraint element and bends with the inner pressure controlled by the FERV. The MEMS fabrication processes for the FERV, movable chamber and displacement constraint element are developed and an arm is successfully fabricated. The characteristics of the FERV are experimentally clarified and the bending motion of the arm is demonstrated.
#Electro-rheological fluid (ERF) #Microgripper #Microactuator #Soft actuator #Fluid power control

목차

Abstract
1. INTRODUCTION
2. PROPOSITION OF ER MICROGRIPPER
3. FABRICATION AND CHARACTERIZATION OF FERV
4. FABRICATION OF ARM
5. CONCLUSIONS
REFERENCES

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