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이용수
Abstract
1. Introduction
2. Modeling of the valve actuator
3. Fabrication process
4. In vitro experimental results
5. Conclusions & Future works
References
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2001 .05
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SERVO CONTROL SYSTEM OF ELECTROSTATIC MICRO-ACTUATOR FOR MICRO ROBOTS
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1988 .10
Servo Control System of Electrostatic Micro-Actuator for Micro Robots
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1988 .01
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