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학술대회자료
저자정보
최재형 (연세대학교) 성진모 (연세대학교) 노가연 (연세대학교) 정봉주 (연세대학교)
저널정보
대한산업공학회 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 2010년 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
발행연도
2010.6
수록면
1,515 - 1,521 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

병렬 기계를 사용하는 반도체 FAB 공정에서의 최적 배치 크기 결정에 관한 연구
최재형 ,  성진모 ,  노가연 외 1명 한국경영과학회 학술대회논문집 2010.06 학술대회자료
병렬 기계를 사용하는 반도체 FAB 공정에서의 최적 배치 크기 결정에 관한 연구
최재형 ,  성진모 ,  노가연 외 1명 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 2010.06 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에서는 전체 반도체 생산 공정 중 병목공정으로 지적되는 FAB공정의 사이클타임을 최소로 하는 최적 배치크기를 제안한다. FAB공정은 동일한 공정을 여러 번 반복하여 방문하는 특징을 가진 re-entrant공정으로서 이로 인한 공정의 복잡성이 매우 높다. 또한 FAB공정을 구성하는 설비의 작동시간 및 설비수의 상이함 등으로 인해 FAB공정 관리에 많은 어려움이 지적되어 왔고, 이를 해결 하기 위한 FAB공정 배치 크기, 투입률, 스케쥴링과 같은 많은연구가 진행되어 왔다.
이에 본 연구에서는 배치크기를 통한 FAB공정 사이클타임 산출모델을 제안하고, 이를 통해 사이클타임을 최소로 하는 최적 배치 크기산정 방법을 제안한다. 또한 산출된 모델을 검증하기 위한 수리실험을 진행하였다.

목차

Abstract
1. 서론
1. 기존연구동향
2. FAB 공정의 분석 및 배치크기 결정의 중요성
3. 최적 배치 크기산출 모델
4. 실험
5. 결론 및 향후 연구방향
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