비동기 설비 신호 상황에서의 강건한 공정 이상 감지 시스템 연구

고종명; 최자영; 김창욱; 선상준; 이승준

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저자정보: 고종명 (연세대학교) 최자영 (연세대학교) 김창욱 (연세대학교) 선상준 (삼성전자) 이승준 (삼성전자)

저널정보: 대한산업공학회 산업공학 (IE interfaces) 산업공학 (IE interfaces) 제20권 제3호

발행연도: 2007.9

수록면: 288 - 297 (10page)

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Success of semiconductor/LCD industry depends on its yield and quality of product. For the purpose, FDC (Fault Detection and Classification) system is used to diagnose fault state in main manufacturing processes by monitoring time series data collected by equipment sensors which represent various conditions of the equipment. The data set is segmented at the start and end of each product lot processing by a trigger event module. However, in practice, segmented sensor data usually have the features of data asynchronization such as different start points, end points, and data lengths. Due to the asynchronization problem, false alarm (type Ⅰ error) and missed alarm (type II error) occur frequently. In this paper, we propose a robust process fault detection system by integrating a process event detection method and a similarity measuring method based on dynamic time warping algorithm. An experiment shows that the proposed system is able to recognize abnormal condition correctly under the asynchronous data situation.

#FDC system #data asynchronization #robust process fault detection system #process event detection #dynamic time warping

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1. [학술지(정기간행물)] - Baek, J. G / 2002 / learing of the cause-and-effect knowledge of a manufacturing process 40 (14) : 3275 ~ 3290

2. [학술지(정기간행물)] - Barna / 1992 / Automatic problem detection and documentation in a plasma etch reactor IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing : 56 ~ 59

3. [학술지(정기간행물)] - Berndt, D. J / 1996 / Finding Patterns in Time Series: A Dynamic Programming Approach : 229 ~ 248

4. [학술지(정기간행물)] - S. B / 1992 / A Curve Interpretation and Diagnostic Technique for Industrial Processes IEEE Transactions on Industry Application : 261 ~ 267

5. [학술지(정기간행물)] - A / 1988 / Monitoring and Diagnosis of Plasma Etch Processes IEEE Transactions of Semiconductor Manufacturing : 23 ~ 27

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