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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
최지성 (군산대학교) 주정훈 (군산대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제45권 제2호
발행연도
2012.4
수록면
75 - 80 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2014

유도결합 스퍼터 승화법을 이용한 고분자 전해질 연료전지 분리판용 CrN 박막의 특성 분석
최지성 재료공학과 2014.01 학위논문

2012

유도 결합 플라즈마 스퍼터 승화법을 이용한 Cr 박막 증착 및 특성 분석
최지성 ,  주정훈 한국진공학회 학술발표회초록집 2012.08 학술대회자료
유도 결합 플라즈마 스퍼터 승화법을 이용한 고속증착 시스템
최지성 ,  주정훈 한국표면공학회지 2012.04 학술저널

초록· 키워드

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A sputter-sublimation source was tested for high rate deposition of protective coating of PEMFC(polymer electrolyte membrane fuel cell) with high electrical conductivity and anti-corrosion capability by DC biasing of a metal rod immersed in inductively coupled plasma. A SUS(stainless steel) tube, rod were tested for low thermal conductivity materials and copper for high thermal conductivity ones. At 10 mTorr of Ar ICP(inductively coupled plasma) with 2.4 MHz, 300 W, the surface temperature of a SUS rod reached to 1,289℃ with a dc bias of 150 W (?706 V, 0.21 A) in 2 mins. For 10 min of sputter-sublimation, 0.1 gr of SUS rod was sputter-sublimated which is a good evidence of a high rate deposition source. ICP is used for sputter-sublimation of a target material, for substrate pre-treatment, film quality improvement by high energy particle bombardment and reactive deposition.
#High rate sputtering #Sublimation #Inductively coupled plasma

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (5)

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1. [학술지(정기간행물)] - M. A. Green / 2007 / / Prog. Photovolt 15 : 425 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - D. P. Davies / 2000 / / J. Appl. Electrochemistry 30 google schola 3. [보고서] - J. R. Selman / 1986 / Fuel Cells ; Trends in Teasearch and Application google schola 4. [학술지(정기간행물)] - M. Kondo / 2003 / / So1. Energy Mat. & So1. Cells 78 : 543 ~ google schola 5. [단행본] - H. Sugai / 2006 / Interuniversity Plasma Electronics / Ohmsha, Ltd google schola

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