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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
안병인 (한국교통대학교) 김경범 (한국교통대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제36권 제5호
발행연도
2012.5
수록면
505 - 512 (8page)

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본 논문에서 태양전지 실리콘 웨이퍼 검사를 위해 광학스캐닝 메커니즘 기반 검사장비를 개발하였다. 그 중에서 다양한 결함검사 요구와 적절한 조명조건을 만족하는 구조적 하이브리드 조명시스템을 설계하였다. 그 다음으로 실험계획법을 이용하여 구조적 하이브리드 조명시스템의 최적 조명조건을 마스터 유리와 실리콘 웨이퍼에서 선정하였다. 마스터 유리에서 최적 조명조건은 B-강, BG-강, BR-강, BGR-강 이며, 실리콘 웨이퍼에서 최적조건은 R-중-B-중 이다. 이 최적조명조건을 적용하여 실리콘 웨이퍼 표면을 검사한 결과, 핀홀, 스크래치, 치핑 등 다수의 표면결함을 정확하게 검출하였다. 구조적 하이브리드 조명시스템은 태양전지 실리콘 웨이퍼 표면결함 검사에 유용하게 사용될 수 있다.
#Solar Cell Wafer(태양전지웨이퍼) #Structured Hybrid Illumination System(구조적 하이브리드 조명시스템) #Optimum Illumination Condition(최적 조명조건)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 태양전지 실리콘 웨이퍼 검사장비 개발
3. 구조적 하이브리드 조명시스템의 최적 조명조건
4. 태양전지 실리콘 웨이퍼의 표면결함 검출
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (8)

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1. [학위논문] - Byelyayev, A. / 2005 / Stress Diagnostics and Crack Detection in Full-Size Silicon Wafers using Resonance Ultrasonic Vibrations / 박사 / University of South Florida google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Li, W. C. / 2011 / Automatic Saw-mark Detection in Multicrystalline Solar Wafer Images / Solar Energy Materials & Solar cells google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Sunil Kumar Kopparapu / 2006 / Lighting Design for Machine Vision Application / Image & Vision Computing 24 : 720 ~ 726 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Na, H. C. / 1997 / Design of a Lighting System for PCB Visual Pattern Inspection / Trans. of the KSME A 21 : 1 ~ 11 google schola 5. [단행본] - Cho, H. S. / / Optomechatronics / Taylor & Francis google schola

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