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박승환 (고려대학교) 김준석 (고려대학교) 김성식 (고려대학교) 백준걸 (고려대학교)
저널정보
한국경영과학회 한국경영과학회 학술대회논문집 한국경영과학회 2009년 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.10
수록면
1 - 10 (10page)

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본 연구는 Support Vector Machine-Regression(이하 SVM-R)을 이용하여 반도체 공정에서 측정되는 주기신호(Cyclic Signals)의 이상 탐지(Fault Detection)를 목적으로 한다. 주기신호란 한 공정 주기 동안 시간에 따라 특정한 패턴을 형성하는 신호를 말한다. 이러한 주기신호의 이상탐지를 위해서 SPC(Statistical Process Control) 차트를 적용하게 되면 2가지 문제점이 존재한다. 첫째, 기존의 SPC 차트들은 공정에서 측정되는 비주기신호의 평균과 분산을 관리하기 위하여, 정상신호는 고정된 평균과 균일한 분산을 가지는 정규분포를 따른다는 가정으로부터 유도되었다. 그러나 주기신호는 시간에 따라 이동하는 평균과 균일하지 않는 분산을 가지는 특정할 수 없는 분포를 따른다는 문제점이 있다. 둘째, 주기신호를 SPC 차트에 적용하기 위하여 주기신호의 구간을 나누는 방법이 제안되었으나 구간의 길이를 결정하는 문제 및 신호의 변동이 큰 구간에서 분산이 증가하는 등의 문제를 가지고 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 본 연구에서는 주기신호의 시간에 따른 모습을 평균과 분산에 대한 식으로 표현하고, 정상 상태의 주기신호에 대한 평균을 나타내는 함수를 추정하기 위하여 비선형 regression 기법인 SVM-R을 이용한다. 또한 SVM-R을 사용하여 구축된 중심선을 기준으로 분산을 나타내는 함수를 추정하여 관리한계선을 설정하고 이를 바탕으로 주기신호의 이상 여부를 판단한다. 제안된 방법의 이상탐지 성능 평가를 위하여 기존의 구간을 나누는 SPC 차트와의 비교 실험을 수행한다.
#Fault Detection #Support Vector Machine-Regression #Cyclic Signals

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 실험
4. 결론
참고문헌(References)

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