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저자정보
Youngmin Ha (포항공과대학교) Hong Jeong (포항공과대학교)
저널정보
대한전자공학회 ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications ITC-CSCC : 2007
발행연도
2007.7
수록면
514 - 515 (2page)

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This paper describes the process of extracting photomask defects by using two optical photomask images. One is a reference image, which does not include any defects, and the other is a test image, which may include defects. Even though extracing large and distinct defects is simple, extracting small or faint defects is not because of di ... 전체 초록 보기

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