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저자정보
박재일 (삼성전자공과대학교) 김정열 (삼성전자공과대학교) 박찬식 (삼성전자공과대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2009년 정기총회 및 추계종합학술대회
발행연도
2009.11
수록면
171 - 172 (2page)

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Thyristor is used for the electric power control of a semiconductor furnace and its failure is only detected by temperature change in furnace. The failure detection time of a thyristor is large, therefore, can cause the great temperature variation in furnace. In this paper, we propose a independent detection method of thyristor failur^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE01593241');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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