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학술대회자료
저자정보
김강삼 (한국생산기술연구원) 조용기 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2010년도 춘계학술대회 및 녹색성장을 위한 표면처리 기술 워크숍
발행연도
2010.5
수록면
115 - 116 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

중간층을 이용한 DLC 박막의 밀착력에 관한 연구
김강삼 ,  조용기 한국표면공학회지 2010.06 학술저널
금속 중간층을 이용한 DLC 박막의 밀착력에 관한 연구
김강삼 ,  조용기 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2010.05 학술대회자료

초록· 키워드

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DLC 박막의 밀착력은 금속기재에 증착시 내마모성, 내화학안정성, 고경도 특성을 발휘할 수 있는 중요한 특성이다. 본 연구는 플라즈마 화학기상 증착법(PECVD)으로 DLC 박막의 증착에 대해 Cr, Si-C:H 중간층에 따른 밀착력에 대해 고찰하였다. Cr 중간층으로 증착한 DLC 박막의 밀착력의 증가로 인해 12N, Si-C:H 중간층의 DLC ... 전체 초록 보기

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