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학술대회자료
저자정보
이동윤 (중부대학교)
저널정보
한국콘텐츠학회 한국콘텐츠학회 종합학술대회 논문집 한국콘텐츠학회 2009 춘계 종합학술대회 논문집 제7권 제1호(하)
발행연도
2009.5
수록면
807 - 809 (3page)

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압전성을 갖는 산화아연 박막을 스퍼터링을 이용하여 실리콘 기판위에 증착하였고 여러 증착 공정변수들이 물성에 미치는 영향과 박막의 구조적 특성 및 전파경계조건을 고찰하였다. 특히, 평탄한 표면을 갖는 압전 박막을 제조하여 전파 특성에 우수한 증착조건을 제시하고 탄성표면파의 전파및 경계조건을 분석한다. 박막 ... 전체 초록 보기

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 결론
참고문헌

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