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한국콘텐츠학회 한국콘텐츠학회 종합학술대회 논문집 한국콘텐츠학회 2007 추계 종합학술대회 논문집 제5권 제2호(하)
발행연도
2007.11
수록면
804 - 806 (3page)

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ZnO박막을 c-축 방향으로 실리콘(Si 100)기판 위에 rf마그네트론 스퍼터링 법으로 증착 하였고, 증착변수가 박막의 결정학적, 전기적 특성에 미치는 영향을 연구하였다. 기판온도 200℃, rf전력이 150W, 산소:아르곤 가스의 비율이 50%:50% ... 전체 초록 보기

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
참고문헌

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