Multi-Points Method를 이용한 스테이지의 5 자유도 운동 오차 측정 방법

김규하; 이선규

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저자정보: 김규하 (광주과학기술원) 이선규 (광주과학기술원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2010년도 추계학술대회 논문집(상)

발행연도: 2010.11

수록면: 519 - 520 (2page)

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