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저자정보
김대철 (국가핵융합연구소) 김종식 (국가핵융합연구소) 이봉주 (국가핵융합연구소) 유석재 (국가핵융합연구소)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2009.8
수록면
386 - 386 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

내부 삽입 직선 안테나를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상 및 불순물 발생 특성 연구
김대철 ,  김종식 ,  이봉주 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료
Internal Linear Antenna를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상을 위한 연구
김대철 ,  김종식 ,  김용현 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.02 학술대회자료

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Internal Linear Antenna를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상을 위한 연구
김대철 ,  김종식 ,  김용현 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 .02
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