반도체 산업에서의 XPS 및 AFM 분석 기술

김안순 ,  신채호

진공이야기

2016 .12

The xps study of the Cu-Zn nanofiber

Eunkang Jeong ,  Yujin Kang ,  Juyun Pa 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

XPS, FTIR, AFM 분석에 의한 유기박막특성

현일섭 ,  한세훈 ,  박현진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

XPS를 이용한 Cu / Polyimide 와 Cu / TiN 계에 대한 연구

이연승

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Applications of Ar Gas Cluster Ion Beam Sputtering to Ta₂O₅ thin films on SiO₂/Si (100)

Chanae Pa ,  k ,  HongChol Chae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Analysis of corrosion on the Al(Cu 1%) surface using XPS

Sang-Gi Kim ,  Kyu-Ha Baek ,  Kwang-Ho Kwon 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Study for Remove of Cu oxide Layer by Pretreatment

주현진 ,  이용혁 ,  노상수 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

XPS를 이용한 Cu / TiN의 계면에 관한 연구

이연승 ,  임관용 ,  정용덕 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1997 .11

전해도금을 위한 ALD Cu seed와 PVD Cu seed의 특성 비교

김재경 ,  박광민 ,  한별 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Inverse Magnetoresistance in the Simple Spin Valve System Fe_1-xCr_x/Cu/Co

Ngoc Anh T. Nguyen ,  Hoang Yen T. Nguyen ,  H. Yil 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05

Synthesis, Structural Details and Induction of Superconductivity in Ga_1-xPb_xSr₂Y_1-yCa_yCU₂O₇ (x＝0.0 to 0.6 & y＝0.0 to 0.5)

Shiva Kuma ,  Anuj Kuma ,  V.P.S. Awana 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .12

XPS를 이용한 TiN / Cu의 Grain boundary diffusion 연구

임관용 ,  이연승 ,  정용덕 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1998 .05

Evaluation of oxidation states in Cu oxide (CuOx) film using quantitative analysis of XPS

Sun Young Pa ,  k ,  JinhyukMin 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Characterization of SrBi₂Ta₂O9 thin films prepared by sputtering method by using AFM and XPS

추정우 ,  박주상 ,  김영관 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

XPS를 이용한 Cu / Polyimide 계면에 관한 연구 : 상온에서 증착한 Cu의 초기성장과정(I)

이연승 ,  황정남

Applied Science and Convergence Technology

1997 .08

XPS를 이용한 Cu / Polyimide의 계면에 관한 연구 : 고온에서 증착한 Cu의 초기성장과정(Ⅱ)

이연승 ,  황정남

Applied Science and Convergence Technology

1998 .05

Characterization of SrBi₂Ta₂O9 thin films prepared by Sol - Gel process using AFM and XPS

추정우 ,  김영관 ,  손병청 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Probing of Electrochemical Reactions for Battery Applications by Atomic Force Microscopy

김윤석

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Oxygen Ion Beam Induced Abnormal Topographic Development at the Ta / Si Interface Studied by SIMS, XPS, and AFM

K. T. Kim ,  D. W. Moon ,  I. C. Jeon

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

TOF - SIMS 와 XPS 를 이용한 Cu / Polyimide 계면 연구

이종완 ,  L. Duda ,  D. Wolany 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07