MEMS probe card용 마이크로 팁 공정 연구

박창모 ,  한명수 ,  신광수 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

30 um pitch의 Probe Unit용 Slit Etching 공정 및 특성 연구

김진혁 ,  신광수 ,  김선훈 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Slit Wafer Etching Process for Fine Pitch Probe Unit

한명수 ,  박일몽 ,  한석만 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Si Deep Etching Process for MEMS Probe Card and Unit

한명수 ,  안수창 ,  김장현

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

Probe Pitch에 따른 Si 식각 특성 연구

한석만 ,  신재철 ,  고항주 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Si Deep Etching Process Study for Fine Pitch Probe Unit

한명수 ,  박일몽 ,  한석만 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

MEMS를활용한바이오융합분야소개

정문연

유전체소식

2008 .01

MEMS 기술을 이용한 DNA Chip

오광욱

한국생명과학회 학술발표회

2001 .01

MEMS 공정에 의한 LC-공진기형 자기센서의 제작과 응용

김봉수 ,  김용석 ,  황명주 외 1명

한국자기학회지

2007 .06

Creating and probing graphene electron optics with local scanning probes

Joseph A. STROSCIO

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

MEMS based in - situ magnetometer system

D. H. Min ,  John Mo ,  eland

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2005 .12

반도체 MEMS 공정에 적용하기 위한 micro blaster 식각 특성

김동현 ,  강태욱 ,  김상원 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Study on Validity and Reliablity of the Cutoff Probe and Langmuir Probe via Comparative Experiment in the Processing Plasma

D.W. Kim ,  S.J. You ,  K.H. You 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

A Novel Transmission line model of Cutoff Probe for precise measurement of high density plasma

김시준 ,  이장재 ,  김광기 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Comparison between Cutoff Probe and Langmuir Probe : Focused on Measurement Technique Error

권준혁 ,  김대웅 ,  유신재 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02