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Ar, N₂ 전자빔 플라즈마의 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
고밀도 플라즈마의 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
HF 플라즈마의 방전 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
대면적 플라즈마 반응기에서의 안테나와 aspect ratio에 따른 플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
TFT-LCD 제조에 사용되는 진공 공정과 플라즈마의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
플라즈마 집속장치로부터 생성된 펄스플라즈마의 에너지, 밀도 및 T⊥ 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
증착공정에서 발생하는 플라즈마의 실시간 측정과 증착박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
대기압 플라즈마의 대기환경기술 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
헬리콘 플라즈마의 연구 현황
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
축전결합플라즈마의 전자가열 연구와 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
플라즈마 공정 진단을 위한 공간 분해 발광 분광 분석법 소개
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
헬리콘 플라즈마의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
초대면적 플라즈마의 공간균일도 평가를 위한 방출광 진단계 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
물 전극 대기압 플라즈마의 방전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
사이레인 플라즈마에서 발생하는 실리콘 기반 나노입자 및 플라즈마의 in-situ 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
유도결합형 플라즈마 발생기(Inductively Coupled Plasma Source)에서 발생되는 산소 플라즈마의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
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