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실시간 입자 복합특성 분석장치를 이용한 pecvd 공정 발생 입자의 분석 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
PECVD를 이용한 실리콘 나노입자의 제조 및 포집
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
PECVD 공정을 통한 ACL 증착 중 발생 입자의 특성변화 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Electrical properties of HfOxNy thin films deposited by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
반도체 및 디스플레이 공정에서 발생하는 오염입자 측정을 위한 PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer)개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
가스 펄스를 이용한 플라즈마 공정 중 생성되는 실리콘 나노입자의 변수에 따른 발생 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
Photoluminescence chracteristics of SiNx thin film deposited by PECVD at low temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
PECVD를 이용한 결정질 태양전지 표면 반사방지막의 최적화
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
PECVD 내에서 수소 펄스를 이용하여 생성되는 실리콘 입자의 변수에 따른 입경 분포 특성 실시간 분석에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
SESSION 1C 측정 및 분석(입자측정 1)
한국대기환경학회 학술대회논문집
2003 .10
SESSION 2C 측정 및 분석(입자측정 2)
한국대기환경학회 학술대회논문집
2003 .10
PECVD를 이용한 2차원 이황화몰리브데넘 박막의 저온합성법 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
도시지역 입자성 물질 및 중금속에 의한 오염 연구 : 자기적 방법을 이용한 서울시 오염의 시-공간적 변화 고찰
대한지질학회 학술대회
2006 .10
PECVD법에 의한 다성분 Fe - O계 박막 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
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