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저자정보
박현준 (한국생산기술연구원) 최윤 (A-Tech System) 이재승 (A-Tech System) 이원범 (한국생산기술연구원) 문경일 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
236 - 236 (1page)

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