A study on the Ti-Al-X-N(X-Cr, Si, V and B) coatings deposited by magnetron sputtering process with single alloying targets

이한찬 ,  편진호 ,  신백균 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

The properties of (Ti, Al)N coatings deposited by inductively coupled plasma assisted d,c, magnetron sputtering

박흥식 ,  정동하 ,  나형돈 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

A study on the effect of Cu amount thin films prepared by magnetron sputtering with Mo-Cu single alloying target

이한찬 ,  편진호 ,  신백균 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Magnetron Sputtering Technology의 연구 및 개발 방향에 대한 동향

박장식

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Hard coatings in the system Ti-C-N produced by a mixed HiPIMS/dc magnetron sputtering process in an industrial coating facility

Sven ULRICH ,  Jian YE ,  Thomas OEFLER 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

The Structural and Physical Properties of Ti films by RF magnetron sputtering

송용화 ,  정충경 ,  부진효

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Preparation of thin Cu-Fe-Ni composites film by magnetron sputtering and their temperature dependence of electromagnetic properties

Y. CHOI ,  B. K. KANG ,  Y. BAIK 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Ti thin film deposited by grid - assisted magnetron sputtering

Min J. Jung ,  Kyung H. Nam ,  Jeon G. Han 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Hydroxyapatite - magnesium coatings on porous Ti-6Al-4V alloy by plasma electrolytic oxidation and magnetron sputtering

Seong-U PARK ,  Kang LEE ,  Han-Cheol CHOE

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Characteristic of Cu Film Controlled by Pulsed Power Using Magnetron Sputter System

김도한 ,  지유진 ,  김태형 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Magnetron Sputter Coating of Inner Surface of 1-inch Diameter Tube

Seung-Hee Han ,  Se-Hoon An ,  In-Seol Song 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

High rate deposition of poly - si thin films using new magnetron sputtering source

Jin-Hyo Boo ,  Heon Kyu Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Two-Dimensional DC Magnetron Sputtering Simulator for Cylindrical Rotating Target

김진석 ,  이정열 ,  김민경 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

마그네트론 스퍼터링을 이용한 Al과 Al-Si 박막의 제조 및 특성

박혜선 ,  정재인 ,  양지훈 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Room-temperature Magnetic Entropy Change in La_0.7Sr_0.3Mn_l-xM_xO₃(M=Al, Ti)

N.V. Dai ,  D.N.H. Nam ,  L.V. Hong 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05

Flexible control of residual stress of (Ti,Al)N films by regulating pulse duration in high power impulse magnetron sputtering

Shuji TAKAHASHI ,  Tetsuhide SHIMIZU ,  Yoshikazu TERANISHI 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Development of transition metal nitride hard coatings through the composition and processing control

Jyh-Wei LEE

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Magnetic anisotropy of epitaxial Cu/Ni/Cu structure growth by magnetron sputtering

LeTuanTu ,  Nguyen T ,  ungThanh 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Kinetic Simulation of Magnetron Sputter

C. H. Shon ,  J. K. Lee ,  H. J. Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02