기판 온도 변화에 따른 Indium-zinc-tin-oxide(IZTO) 박막의 투명전도 특성에 관한 연구

손동진; 남은경; 정동근; 김용성

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저자정보: 손동진 (성균관대학교) 남은경 (성균관대학교) 정동근 (성균관대학교) 김용성 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.2

수록면: 215 - 215 (1page)

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2010

기판 온도 변화에 따른 Indium-zinc-tin-oxide(IZTO) 박막의 투명전도 특성에 관한 연구

손동진 , 남은경 , 정동근 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

증착압력과 O₂ 농도 변화에 따른 Indium-zinc-tin-oxide(IZTO) 박막의 투명전도 특성에 관한 연구

손동진 , 남은경 , 정동근 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

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