Study on ZnS Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

황동현 ,  안정훈 ,  손영국

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Properties of ZnO:Ga thin films deposited by RF magnetron sputtering under various RF power

Deok Kyu Kim ,  Hong Bae Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .11

Fabrication and characterization of half - metallic (Fe₃O₄) thin film using a RF magnetron sputtering system

이성복 ,  홍진표 ,  김채옥 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

박막 형광체 ZnGa₂O₄:Mn²⁺의 RF Magnetron Sputtering법을 이용한 생장

박재홍 ,  이성훈 ,  하성진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Effect of post heat-treatment on microstructure and dielectric properties of Ba_0.5Sr_0.5TiO₃ thin films by RF magnetron sputtering

Chil-Hyoung Lee ,  Doo-Jin Choi ,  Young-Jei Oh

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time

이석희 ,  박주연 ,  최아롬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Electrical Characterization of Amorphous Zn-Sn-O Transistors Deposited through RF-Sputtering

Jeong-Wan Choi ,  Eui-Hyun Kim ,  Kyeong-Woo Kwon 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

RF Magnetron Sputtering법에 의해 증착된 Ni - Zn Ferrite 박막의 물성 연구

공선식 ,  조해석 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

Electrical and optical properties of Ga-doped ZnO thin films prepared by RF magnetron Co-sputtering systems

Nam-Jung KIM ,  Naeho SHIN ,  Chang-Su HWANG

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Rf magnetron sputtered Co79Cr₂₁ 박막의 자기이방성

백종성 ,  김약연 ,  임우영 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1991 .05

Deposition of ZrO₂ Thin Films Using RF Magnetron Sputtering and Characterization of Their Properties on Different O₂ Concentrations

S. H. Jeong ,  Y. S. Shin ,  I. S. Bae 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Deposition of ZrO₂ thin films using RF magnetron sputtering and characterization of their physical properties on different O₂ concentrations

Y. S. Shin ,  S. H. Jeong ,  I. S. Bae 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Study on Optical and Electrical Properties of IGZO Thin Film According to RF Power Fabricated by RF Magnetron Sputtering

장야쥔 ,  황창수 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Electrical/Optical Characterization of Zn-Sn-O Thin Films Deposited through RF Sputtering

Chan-Rok Pa ,  k ,  Moon-Su Yeop 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

The Structural and Physical Properties of Ti films by RF magnetron sputtering

송용화 ,  정충경 ,  부진효

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성

김종욱 ,  김민석 ,  이인환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석

장성우 ,  황세훈 ,  윤정현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Sputtering effect on chemical state changes in amorphous Ga-In-Zn-O thin film

이미지 ,  강세준 ,  백재윤 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02