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플라즈마에서 OES(Optical Emission Spectroscopy)를 통한 leak 발생 감지 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Sensitivity Enhancement of Fault Detection in Plasma Etching Processes using Optical Emission Spectroscopy with Multivariate Analysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
플라즈마 방출광 진단을 이용한 플라즈마 진단 및 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Analysis of silicone modified polyester resin in paint by inductively coupled plasma optical emission spectroscopy (ICP-OES)
한국분석과학회 학술대회
2017 .05
Correlation Study between Optical Emission Spectroscopy Signals and Silicon Nitride Film Properties in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Prediction of Silicon Nitride Film Properties by the Analysis of Optical Emission Spectroscopy Signals in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Real-time Advanced Process Control Technology Using Optical Emission Spectroscopy in Dry Etching Process
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
RF Plasma Etching Endpoint Detection of Dielectric layers Using Optical Emission Spectroscopy with modified K-means Cluster Analysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
Optical emission spectroscopy for atmospheric pressure plasmas : Principles and applications
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Real-Time Plasma Process Monitoring with Impedance Analysis and Optical Emission Spectroscopy
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
OES를 이용한 Total 산소(O)분석
한국분석과학회 학술대회
2019 .11
Correlation Analysis of Plasma Properties and Film Properties using Optical Emission Spectroscopy in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes of Silicon Nitride
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Spark/arc OES를 이용한 고 Mn 강 중 미량 원소 신속 분석
한국분석과학회 학술대회
2013 .05
Chamber Monitoring with Residual Gas Analysis with Self-Plasma Optical Emission Spectroscopy
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
광진단을 통한 플라즈마 공정 상태 변동 메커니즘 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
The comparison of end-point detection between optical emission spectroscopy and residual gas analysis in silicon etching in NF3/Ar Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Plasma Optical Signal Analysis for SiNx Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
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