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대면적 플라즈마 반응기에서의 안테나와 aspect ratio에 따른 플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
자화 유도 결합 플라즈마의 방전 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
Ar, N₂ 전자빔 플라즈마의 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
HF 플라즈마의 방전 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
고밀도 플라즈마의 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
헬리콘 플라즈마의 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
CF4/Ar 자화유도결합 플라즈마의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
물 전극 대기압 플라즈마의 방전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
자화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 Al - Nd 박막의 식각특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
대기압 플라즈마의 대기환경기술 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
유도결합형 플라즈마 발생기(Inductively Coupled Plasma Source)에서 발생되는 산소 플라즈마의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
자화 유도 결합 플라즈마의 산화물 건식 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
헬리콘 플라즈마의 연구 현황
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
축전결합플라즈마의 전자가열 연구와 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
자화된 유도결합 플라즈마에서의 SF₆/O₂ 특성 및 Silicon Via에 대한 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
유도 결합 플라즈마에서의 안테나 권선 수에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
사이레인 플라즈마에서 발생하는 실리콘 기반 나노입자 및 플라즈마의 in-situ 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
450 ㎜ Wafer 가공을 위한 자화유도결합플라즈마 시뮬레이션 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
TFT-LCD 제조에 사용되는 진공 공정과 플라즈마의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
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