차세대 TFT-LCD 제조용 초대면적 공정플라즈마 소스개발

김곤호; 이석환; 최재명; 최명선

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김곤호 (서울대학교) 이석환 (서울대학교) 최재명 (서울대학교) 최명선 (서울대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집

발행연도: 2009.2

수록면: 87 - 87 (1page)

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