Effects of surfactants on the etching of Cr for TFT - LCD application

조동현; 오종혁; 이지화

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 조동현 오종혁 이지화

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제12회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1997.2

수록면: 236 - 236 (1page)

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