Synthesis of SiNx:H films in PECVD using RF/UHF hybrid sources

K. S. Shin ,  B. B. Sahu ,  J. S. Lee 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

High rate deposition and mechanical properties of SiOx film on PET and PC polymers by PECVD with the dual frequencies UHF and HF at low temperature

Su B. Jin ,  Yoon S. Choi ,  In S. Choi 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Excellent magnetic properties of Co_52.5Fe_22.5Hf₁₀O₁₅ thin films

Tho Luu Van

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2006 .11

Electrical properties of HfO_xN_y thin films deposited by PECVD

J.-H. Pa ,  k ,  J.-S. Hyun 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Synthesis of nano-crystalline Si films on polymer and glass by ICP-assisted RF magnetron sputtering

Kyung S. Shin ,  Yoon S. Choi ,  In S. Choi 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Photoluminescence chracteristics of SiN_x thin film deposited by PECVD at low temperature

Kyungsu Lee ,  Eunkyeom Kim ,  Kyongmin Kim 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Low-temperature synthesis of nc-Si/a-SiNx: H quantum dot thin films using RF/UHF high density PECVD plasmas

Yongyi Yin ,  B. B. Sahu ,  J. S. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

A Study for Properties of SiOC(-H) Thin Films with Low-κ Formed by UV-Assisted PECVD Method

Chang Young Kim ,  Young Jun Jang ,  R. Navamathavan 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

Neutral Beam assisted Chemical Vapor Deposition at Low Temperature for n-type Doped nano-crystalline silicon Thin Film

장진녕 ,  이동혁 ,  소현욱 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

PECVD 기법에 의해 제조된 nc-Si : H 박막의 나노 구조적 특성

심재현 ,  정수진 ,  조남희

한국결정학회지

2003 .01

TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구

안경한 ,  설용건 ,  김선효

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Si₃N₄상에 PECVD법으로 형성한 텅스텐 박막의 특성

이찬용 ,  배성찬 ,  이종현 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Preparation and Characterization of DLC Films on Si - wafer using Organic Compounds by PECVD

Chun Min-Seung ,  Jong Gi Jee

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Structural properties of BC₃N nanotube synthesized by dc PECVD

Ji Hoon Yang ,  Dea Ho Lee ,  Jung Eun Kim 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Electron Transport of CN Nanowire Synthesized by PECVD

양지훈 ,  정재인 ,  염민형 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Effects of Neutral Particle Beam on Nano-Crystalline Silicon Thin Film Deposited by Using Neutral Beam Assisted Chemical Vapor Deposition at Room Temperature

Dong Hyeok Lee ,  Jin Nyoung Jang ,  Hyun Wook So 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Deposition of Nano Crystalline Silicon Thin Film by Using a Neutral Beam Method at Low Temperature

임웅선 ,  강세구 ,  오종식 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Hydrogen Absorption : Crystalline vs. HF-Etched Porous Silicon

조삼근 ,  정민복

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

A study for the hybrid low-k polymer thin films by PECVD and their electrical and mechanical properties

배인섭 ,  조상진 ,  부진효

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08