TaNx 박막의 X-선 회절법에 의한 결정구조 해석

이동윤 ,  허정섭 ,  김인성 외 1명

한국결정학회 학술연구발표회

2001 .01

V-Based Self-Forming Layers as Cu Diffusion Barrier on Low-k Samples

박재형 ,  문대용 ,  한동석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

TaOx층 형성에 따른 TaNx / Cr 박막의 저항특성 변화에 관한 연구

허명수 ,  김종호 ,  이건환 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Atomic Layer Depositied Tungsten Nitride Thin Films as Diffusion Barrier for Copper Metallization

황영현 ,  이인환 ,  조병철 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Microstructural evolution of tantalum nitride thin films synthesized by inductively coupled plasma sputtering

김영운 ,  백성일

한국현미경학회지

2020 .01

PEALD TaNx 박막 내 질소 함량 확산 방지 특성에 미치는 영향

문대용 ,  한동석 ,  신새영 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Characterization of Al2O3 Thin Film Encasulation by Plasma Assisted Spatial ALD Process for Organic Light Emitting Diodes

Sang Heon Yong ,  Sung Min Cho ,  Ho Kyoon Chung 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Tungsten Nitride Thin Film Deposition for Copper Diffusion Barrier by Using Atomic Layer Deposition

황영현 ,  조원주 ,  김영환 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

Fabrication of dense Al2O3 thin films using UV-enhanced ALD at room temperature

윤관혁 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

Unusual ALD Behaviors in Functional Oxide Films for Semiconductor Memories

Cheol Seong Hwang

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Effect of deposition temperature and thickness on surface properties of ALD TiO₂ films

장영문 ,  양병찬 ,  신정우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

고정밀 박막 저항체용 TaNx film에서 Cr interlayer가 film의 저항온도계수 안정화에 미치는 영향에 관한 연구

허명수 ,  천희곤 ,  이건환 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

The Characterization of V Based Self-Forming Barriers on Low-k Samples with or Without UV Curing Treatment

박재형 ,  한동석 ,  강유진 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Failure mechanism of very thin diffusion barriers

홍민기 ,  김경중 ,  위명용

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Fabrication of Organic-Inorganic Superlattice Films Toward Potential Use For Gas Diffusion Barrier

윤관혁 ,  Subas Kuma ,  Muduli 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Fabrication of ZnO inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition

송종수 ,  윤홍로 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

ALD 방법에 의한 ZnO 박막의 성장

조원태 ,  성기환 ,  안기석 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

The study of physical property for indium oxide grown by Atomic Layer Deposition (ALD)

Young Joon Cho ,  Hyo Sik Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Properties of electroless Ni-P alloy as a diffusion barrier and seed layer in through-Si vias for 3D copper interconnection

김태유 ,  신세희 ,  박종환 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Thermal Stability of Self-formed Barrier Stability Using Cu-V Thin Films

한동석 ,  문대용 ,  김웅선 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02