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Young June Hong (광운대학교) Min Wug Moon (광운대학교) Gi Chung Kwon (광운대학교) Yoonho Seo (광운대학교) Guangsup Cho (광운대학교) Hee Myoung Shin (광운대학교) Eun Ha Choi (광운대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.2
수록면
220 - 220 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

Extreme ultraviolet (EUV)measurement and Plasma diagnostics of the coaxial focused plasma in accordance with Argon pressure for EUV light source
Young June Hong ,  Gi Chung Kwon ,  Hee Myung Shin 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.08 학술대회자료
Measurement of electron temperature and density of the coaxial focused plasma in accordance with insulator lengths for extreme ultraviolet (EUV) lithography
Young June Hong ,  Min Wug Moon ,  Gi Chung Kwon 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

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