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진공증착기의 새로운 BOAT CONTROL 방식
포장계
1999 .01
스퍼터링에 의한 금속 나노박막 증착에서 광학적 특성을 이용한 in - situ 박막 두께 측정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
[특별세션: 다기능성 나노박막 및 제조 공정] 원자/나노 복합구조 제어에 의한 다기능성 전자저항막 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
펜타신 박막의 두께와 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
진공증착법을 이용한 최적의 압전성 유기 박막의 제조와 스위치 특성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1999 .08
다결정 역스피넬 CrxFe3-xO₄ 박막에서의 자기저항 효과
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2008 .06
진공증착법을 이용한 최적의 압전성 유기 박막의 제조와 스위치 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
진공증착법에 의한 다결정 CdTe 박막제조 및 물성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
증착방법을 달리한 TiO2 박막의 표면처리에 따른 저항변화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
DC 스퍼터로 증착한 금속박막의 실시간 전기저항 측정과 유착두께에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Touch Panel ITO 박막제조기술현황과 진공증착시스템
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
얇은 다공 구조 박막에서의 두께에 따른 박막 저항 변화
한국자기학회지
2012 .02
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
진공증착법에 의해 제조된 PVDF 박막의 전기전도현상과 열자격전류에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
SIM을 이용한 빔크기 측정과 박막두께 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
이온 클러스터빔 증착장비의 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
CIGS 태양전지용 박막 진공 증발/증착 예측 기술 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
평판형 탐침을 이용한 공정 챔버 벽 증착 막 두께 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
알루미늄 진공 증착기술의 현황과 전개
포장정보
1994 .01
스퍼터링 방식에 의해 증착되어진 나노결정 탄소박막의 특성 및 유기박막트랜지스터에 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
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