지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
R&D용 원자층 증착기술 및 증착장비(ALD) 소개
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
이온빔 증착법에 의해 형성된 Si 나노결정의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
이온 보조 증착에서 산소 이온 빔 에너지가 주석 산화물 박막형성에 주는 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
측정 및 분석(장비개발)
한국대기환경학회 학술대회논문집
2002 .10
이온빔 증착에 의한 DLC 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
이온빔 보조 증착에 의한 Calcium phosphate 성장에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
이온화클러스터빔 증착법에 의한 구리 박막의 반도체 접촉구 메움 향상에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1998 .05
이온빔 보조증착에 의한 DLC 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
이온빔 보조 증착으로 제조된 카본 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
반도체 세정 공정용 가스 클러스터 장비의 클러스터 발생 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Ion Beam Assisted Deposition of Optical Coatings
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
In-line 시스템 방식의 대기압 플라즈마 증착 장비를 이용한 HMDS/O₂조성에 따른 SiO₂ 박막 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
이온화 집단체 증착 방법을 이용한 ZnO / Si(111) 박막의 결정성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
탄소 음이온빔에 의해 증착된 DLC 필름의 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Investigation of New Ionized Cluster Beam Source
Applied Science and Convergence Technology
1996 .09
전자빔의 조사가 직접이온빔으로 증착하는 CN 박막의 물성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
이온빔 - 보조 DC 반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 TiO₂ 박막의 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
세슘을 이용한 플라즈마 음이온빔 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
0